每一次参数调整,都像在走雷区。
罗斯塔姆的算法团队在隔壁超算中心,日夜与海量的仿真数据搏斗。
屏幕上滚动的偏微分方程和优化迭代,让最强大的计算机都发出不堪重负的呻吟。
设计出来的掩模图形越来越诡异,经常让掩模工程师看得头皮发麻,争吵成了日常。
第一次尝试80nm线宽的双重曝光,结果出来,电子显微镜下一片模糊的混沌,套刻误差大得惊人。
几十万一片的试验晶圆,废了。
“调!对准标记重做!曝光剂量分布优化!
算法组,你们的二次曝光工艺波动模型得重算!”
冯建国的声音嘶哑得像破风箱。
第二次,第三次……失败连着失败。
特制的废料箱里,报废的晶圆越堆越高,那不仅是钱,更是无数个不眠夜的心血。
巨大的挫败感让实验室气氛压抑到极点,有人忍不住摔了记录本,有人蹲在墙角抱着头。
负责光刻胶工艺的周亚芳,一个年近五十、从上海微电子所调来的女工程师,话不多,手极稳。
为了找到最佳配方,她带着徒弟,每天用移液枪调配上百种组合,在显微镜下观察成千上万次。
有机溶剂刺激得她眼睛红肿,手上皮肤腐蚀脱皮,徒弟看不过去劝她,她只是摇摇头:
“胶不行,光刻就是瞎折腾。祁书记说了,材料是根。”
终于,在不知第多少次失败后,电子显微镜传回的图像上,第一次出现了清晰的、宽度大约100纳米的孤立线条!
虽然粗糙,虽然离目标很远,但那是黑暗中第一道确凿无疑的裂痕!
实验室里爆发出劫后余生般的呐喊,有人抱着身边的人又跳又叫,热泪横流。
周亚芳默默走到窗边,看着外面沉沉的夜色,用力眨了眨酸涩的眼睛,转身又走进了配胶间。
她知道,路还长。
最后是“夸父追日”线!
零号车间!
深埋地下的“零号车间”,像个光怪陆离的科技考古现场。
那台东欧来的KrF激光器,接通电源后,发出的不是稳定的激光,而是噼啪炸响和闪烁不定的暗红光芒,伴随着浓烈的臭氧味。
“这玩意儿……真能出248的光?”精密机械专家老陈围着这台“古董”转圈,眉头能夹死苍蝇。
“心脏还在跳,就有戏。”